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蘇淨超淨工作台的結構說明及原理-具體操作方法

時間:2019-05-05 17:04 來源:未知 作者:admin
  蘇淨超淨工作台的結構說明及原理-具體操作方法講解:蘇淨超淨工作台其實也可以稱之為局部潔淨棚,或者區域無塵工作桌等,不同的地區叫法都會有所不同,總之主要是為實驗室工作提供無菌操作環境的設施,以保護實驗免受外部環境的影響,同時為外部環境提供某些程度的保護以防污染并保護操作者。

  空氣經過過濾的生産環境被航空航天工業使用。即使一個微小的缺陷都可造成衛星工作失誤,因此,NASA(美國航空航天中心)和其服務商們建造了帶有過濾天花闆夾層和過濾牆體的車間。而且創了許多基本的污染控制理念,其中包括從工作人員潔淨服到潔淨室使用物的管理方法。

  半導體工業采用了許多這方面的技術。然而一個主要的問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間後,很難保持其固有的潔淨度。早期半導體工業把帶過濾天花闆夾層和牆體的方法演化為超淨工作台法。這個主要是把過濾器裝在單個工作台上,并使用無脫落的物質。在工作台以外,晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。

  蘇淨超淨工作台

  在大型車間中按順序排列的工作台(叫做工作層流罩)組成加工區,使晶圓依工藝次序經過而不從露于空氣中。潔淨工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器(HEPA高效過濾器)。這些過濾器是由含許多小孔,并按手風琴琴葉折疊的脆性纖維組成,由于高密度的小孔與大面積的過濾層,使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免産生空氣流,有利于工作台的潔淨度,并且對于操作員而言,在舒适的環境中工作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率,并可用于三種淨化方法中。

一般來說,HEPA高效過濾器裝于超淨工作台頂部。空氣由風扇吸入先通過前置過濾器,再通過HEPA過濾器,并以均勻平行的方式流出,在工作台表面改變方向,流出工作台。安裝檔闆可控制晶圓表面空氣流動方向,通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)工作台,它是由空氣流的方向命名的。有些工作台把HEPA過濾器裝于工作台後部,這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式工作台。

1.
  蘇淨超淨工作台工作台原理:

超淨工作台的潔淨環境是在特定的空間内,潔淨空氣(進濾空氣)按設定的方向流動而形成的。以氣流方向來分,現有的超淨工作台可分為垂直式,由内向外式以及側向式。從操作質量和對環境的影響來考慮,以垂直式較優越。由供氣濾闆提供的潔淨空氣以一個特定的速度下降通過操作區,在大約操作區的中間分開,由前端空氣吸入孔和後吸氣窗吸走,在操作區下部吸入的空氣混合在一起,并由風機吸入後正壓區,在機器的上部,氣體通過供高效過濾器重新進入操作區。為補充排氣口排出的空氣,同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣絕對不會進入操作區,隻是形成一個空氣屏障。

2. 
  蘇淨超淨工作台工作台操作方法:

操作前應用紫外燈照射30-40分鐘,并檢查操作區周圍各種可開啟的門窗處于工作時位置。操作盡量在操作區的中心位置進行,在設計上,這是一個較安全的區域。

在進行操作前應對實驗材料有一個初步的認識,同時了解自已所使用的設備的性能及安全等級。嚴格執行實驗室安全規程。特定病原在任何超淨工作台中的使用必須進行安全性評估。如果實驗材料會對周圍環境造成環境污染,就應避免在無排氣濾闆的型号内使用,因為在流動空氣中操作與散毒無異。

任何先進的設備并不能保證實驗的成功,動物檢疫實驗室
蘇淨超淨工作台的使用是以無菌和避免交叉污染為目的,因此熟練的操作和明确的無菌要領是必不可少的。